一、基础排查信息

二、PEI判定依据（ANSI/ESD S20.20-2021）

同时满足以下4项条件，判定为PEI工艺设备绝缘体：
1. 处于EPA静电防护区内；2. 表面点对点电阻＞1×10¹²Ω/sq；3. 无法可靠接地/无有效接地路径；4. 靠近或可接触ESDS静电敏感器件，存在静电放电风险。

三、PEI识别与判定明细（含核心填写示例）

1. PEI与ESDS器件裸露敏感部位的最短空间直线距离，严禁测量沿设备、地面的折线距离，确保数据贴合实际风险。
2. 判定逻辑严谨：必须同时满足4项判定条件才可判定为PEI，缺一不可；表面电阻≤1×10¹²Ω/sq、可可靠接地的物品，一律不纳入PEI管控，避免误判漏判。
3. 距离管控标准：PEI与ESDS器件最短直线距离需≥30.5cm（12英寸），距离不达标项必须明确整改措施，整改完成后及时复测，形成“识别-判定-整改-复测”闭环。
4. 对象区分清晰：本表仅针对PEI（工艺设备绝缘体），与孤立导体（未接地导体）分开记录、分类管控，不可混淆填报，导体类物品需单独填写孤立导体记录表。
5. 记录完整要求：备注栏简要标注物品特性、风险点或整改原因，管控措施需具体可落地，禁止笼统表述；排查人、审核人需完成手写签字，保证记录可追溯，满足ESD体系审核查阅要求。
6. 日常管理要求：新增设备、工装入场后需立即完成PEI识别判定，每季度开展全EPA区域复盘排查，动态更新台账，确保所有PEI全程处于受控状态。

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