2025.11.1实施。

静电危害性分析参考：

静电是洁净室及相关受控环境中常见污染源之一。静电吸引可造成污染物集聚，污染洁净环境，影响产品质量和人员健康；静电放电会对洁净环境中静电敏感设备、产品造成危害，并且给电气安全、消防安全及人员健康造成隐患；静电控制措施不当不仅会影响洁净室的气流组织、洁净度，还会影响电气及消防安全。

1范围

本文件给出了洁净室及相关受控环境中的静电来源和危害，规定了洁净室及相关受控环境中适用的静电控制技术要求。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中的静电控制。

4.2 危害

4.2.1洁净室及相关受控环境中的静电危害主要由静电吸引(ESA)、静电放电(ESD)和静电感应(ESI)造成。

4.2.2ESA造成粒子、微生物等聚集，形成带电污染物。带电污染物接触到对表面洁净度或静电放电敏感(ESDS)产品、材料、设备和人员时会造成静电危害：

——造成ESDS产品短路、性能下降等；

——污染ESDS材料；

——造成ESDS设备的功能性部件污染、性能下降；

——造成防静电工作区(EPA)消防隐患和人员安全隐患。

4.2.3 ESD及ESI的危害对象主要是ESDS产品、ESDS设备和人员。ESD及静电感应造成ESDS产品击穿、失效、性能下降，造成ESDS设备控制或测量精度下降、设备功能损失。ESD还会造成人体静电冲击，且在涉及易燃易爆物品时，ESD产生的火花可能引起火灾或爆炸。洁净室内的ESD方式如下所述。

——人体放电。人员活动或工作时，接触ESDS产品或设备产生ESD.

——带电器件放电。带电器件接近具有不同静电电位的物体时产生ESD.

——机器设备带电放电。生产、转运设备或工具接触ESDS产品时产生ESD.

——线缆放电。存在电荷积聚的线缆接近具有不同静电电位的物体时产生ESD.

——其他。工艺活动、电磁或电离辐射等产生ESD.

4.2.4静电控制采取不当措施时，可能影响洁净室环境性能、设备设施性能、产品质量，并带来人员安全和电气安全隐患：

——使用不符合洁净室适用性要求和工艺要求的防静电材料或设备、设施；

——离子化静电消除器选型、安装位置或屏蔽措施不当；

——接地及等电位联结措施不当。

5 技术要求

5.1.2洁净室及相关受控环境中的接地系统要求如下所述。

——洁净室所在建筑防静电接地干线对地电阻抗应小于或等于10Ω，洁净室防静电接地系统各连接部位（接地支线、接地端子板、接地网格、接地装置）与接地干线之间的电阻值应小于或等于4Ω.

——洁净室EPA的围护结构，通风净化空调系统（送风口、回风口、风管、风机过滤单元等末端装置）、金属桥架、穿过洁净室且输配易燃易爆介质的工艺管道、洁净室内的工艺设备及其防爆柜均应接地，接地方式应采用焊接或机械连接方式，其中管道法兰应跨接。

——严于（含）ISO5级的洁净室或使用活动地板的洁净室，防静电接地系统各连接部位宜设置在下夹层或活动地板下方。

注: ISO等级见GB/T 25915.1—2021中4.3.

——洁净室内由TN交流配电系统供电时应采用TN-S或TN-C-S系统的接地方式，爆炸性环境配电系统应采用TN-S系统接地方式。防静电等电位联结导体选用方式见附录B的表B.1.

——使用活动地板的洁净室防静电接地系统可利用支架系统构成框架联结网络，接地连接导线应选用有绝缘保护的软铜线，截面积不应小于2.5mm²。

——洁净室中易燃易爆介质储存容器，容易产生静电的设备、仪器，以及对静电敏感的仪器应采取单独接地措施。

5.1.3洁净室EPA区域内宜避免存在孤立导体。无法避免时，孤立导体与ESDS产品、设备或接地点间的电位差应按照工艺要求进行控制。

5.1.4ESDS产品300 mm范围内存在绝缘物体时，应按照工艺要求布置离子化静电消除设备。同时应制定绝缘物体管控清单，并根据工艺和风险评估确定其静电电压监控要求。

5.2人员

5.2.1从事处置或直接接触ESDS物品的人员应接受专门培训。

5.2.2人员与ESDS产品、材料和设备的接触面应通过等电位联结处于相同电位。

5.2.3人员在洁净室内活动的着装及其他防静电设施佩戴应满足各行业工艺或技术活动的相关要求。

5.2.4 人员在严于（含）ISO 5级的洁净室内应穿着连体式防静电无尘服及防静电鞋，连体式防静电无尘服及防静电鞋的各部分应具有电气连续性，在其他等级洁净室可穿着分体式防静电无尘服或根据工艺及使用要求选择防静电无尘服。防静电无尘服性能指标见表B.2.

5.2.5人员在洁净室内穿着分体式防静电无尘服活动时，应穿防静电鞋（套）实现人员等电位联结，人员对地电阻应在1×105Ω-1×109Ω范围，人体电压绝对值应小于或等于100 V.

5.2.6人员在洁净室内固定位置接触ESDS产品时，宜通过防静电手腕带进行等电位联结，人员穿戴手腕带时对地电阻应在1×105Ω-3.5×107Ω范围。

5.2.7通过防静电无尘服、防静电鞋（套）实现人员等电位联结时，人员进入洁净室EPA区域前，宜使用人体静电综合电压测试仪检验人体对地电阻或通过静电泄放装置泄放人体静电。

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