1 目的与范围

1.1 目的

为规范EPA静电防护区内PEI工艺设备绝缘体的识别、判定、安全距离管控、风险整改及记录管理，严格遵循ANSI/ESD S20.20标准要求，杜绝因PEI静电积聚、放电造成ESDS静电敏感器件损坏，规避ESD体系审核不符合项，特制定本程序。

1.2 适用范围

本程序适用于公司所有EPA静电防护区内，所有与ESDS器件接触或近距离接触的设备、工装、夹具、支架、手柄、盖板、周转辅具等零部件的PEI判定、测量、管控、整改及全流程记录管理，覆盖生产、检验、仓储、维修全工位。

2 术语与定义（审核核心条款）

PEI（Process Equipment Insulators）工艺设备绝缘体：指EPA静电防护区内，同时满足“无法可靠接地、表面电阻＞1×10¹²Ω/sq、不具备静电耗散/导电性能、易因摩擦/感应积聚静电、近距离接触ESDS器件存在放电风险”四大条件的工艺设备及辅助零部件，是ESD体系重点管控的高风险绝缘物体。

ESDS器件：静电敏感器件，指对静电放电敏感，易被高压静电击穿损坏的电子元器件、PCB板、芯片、连接器等产品及半成品。

EPA区域：静电防护区，通过接地、防静电材料、温湿度控制等措施，实现静电有效管控的专属作业区域。

安全距离：PEI最突出部位与ESDS器件最敏感部位之间的最短空间直线距离，本程序执行标准为≥30.5cm（12英寸）。

3 权责分工

<!--[if !supportLists]-->• <!--[endif]-->ESD管理小组/品质部：负责本程序制定、修订、培训；牵头PEI识别判定、安全距离测量复核；审核豁免申请及整改方案；监督管控落地及体系内审。

<!--[if !supportLists]-->• <!--[endif]-->生产部/设备部：负责工位PEI日常排查、初步判定、台账建立；按要求完成安全距离测量、整改实施及日常维护；配合完成ESD审核相关工作。

<!--[if !supportLists]-->• <!--[endif]-->现场作业员：负责识别工位新增PEI物品，及时上报班组长；严格遵守PEI安全距离管控要求，不违规摆放、移动PEI物品。

4 PEI判定标准与流程（核心管控）

4.1 核心判定条件（必须同时满足，缺一不可）

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->区域条件：物品处于EPA静电防护区内部，非管控区域物品不纳入PEI管控；

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->电阻条件：经表面电阻测试仪检测，表面点对点电阻＞1×10¹²Ω/sq，属于高绝缘材料；

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->接地条件：无法通过接地线、接地卡扣等方式实现可靠接地，或接地电阻不达标、无有效接地路径；

<!--[if !supportLists]-->4. <!--[endif]-->风险条件：近距离靠近ESDS器件，作业过程中存在接触或静电放电风险，无任何静电中和措施。

4.2 快速判定对照表

判定项目	属于PEI	不属于PEI
是否在EPA区域	是	否
表面电阻值	＞1×10¹²Ω/sq	≤1×10¹²Ω/sq（耗散/导电材料）
接地情况	无法接地/接地不可靠	可靠接地，接地电阻达标
静电风险	靠近ESDS，易积聚静电	远离ESDS，或有有效静电中和

4.3 判定流程

工位排查→表面电阻检测→接地有效性核查→风险评估→判定结果→纳入PEI管控台账→标注管控等级

5 PEI安全距离测量规范

5.1 测量标准

PEI与ESDS器件最短空间直线距离≥30.5cm（12英寸），禁止测量沿设备外壳、地面、墙面的折线距离，必须测量空气直线最短距离。

5.2 测量工具

精度≥1mm的钢卷尺、激光测距仪，禁止使用易产生静电的塑料量具，测量前确认量具无静电积聚。

5.3 测量要点与注意事项

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->测量基准：PEI最突出、最靠近ESDS的部位，对应ESDS器件裸露引脚、焊盘、接口、芯片等最敏感部位；

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->移动类PEI（周转箱、工具车、便携夹具）：测量作业过程中，可移动至距离ESDS最近位置的距离，而非静态摆放距离；

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->隐蔽/设备内部PEI：设备运行状态下，内部绝缘部件与ESDS的近距离，需拆解核查并测量；

<!--[if !supportLists]-->4. <!--[endif]-->环境要求：在EPA区域常规温湿度下测量（20±2℃，湿度40%-60%），记录测量时温湿度；

<!--[if !supportLists]-->5. <!--[endif]-->测量频次：新设备/新工装入场必测、季度内审全量复测、日常巡检抽查、整改后复测。

6 管控要求与豁免条件

6.1 常规管控要求

所有判定为PEI的物品，必须严格保持30.5cm安全距离，在工位张贴PEI管控标识，禁止随意挪动靠近ESDS器件，建立专属管控台账，做到一物一记录。

6.2 豁免条件（满足其一即可豁免距离要求，审核需提供佐证记录）

<!--[if !supportLists]-->1. <!--[endif]-->将PEI更换为静电耗散材料，表面电阻控制在1×10⁶～1×10⁹Ω/sq，检测合格；

<!--[if !supportLists]-->2. <!--[endif]-->加装有效离子风机，覆盖PEI区域，经检测1000V电压衰减至100V时间≤1.0s，留存衰减测试报告；

<!--[if !supportLists]-->3. <!--[endif]-->持续监控PEI表面静电电压≤±100V，定期检测并留存记录。

6.3 整改要求

距离不达标且不符合豁免条件的PEI，立即停机整改，采取移位、更换材料、加装离子中和装置等措施，复测合格后方可恢复作业，整改全程留存记录。

7 记录与存档管理

所有PEI相关记录需规范填写、签字完整，存档期限≥1年，体系审核时可随时调取，核心记录表单如下：

7.1 PEI识别与判定记录表

序号	工位/区域	PEI名称/部位	材质	表面电阻(Ω/sq)	能否可靠接地	是否为PEI	判定人	判定日期	备注
1
2

7.2 PEI安全距离测量记录表

序号	PEI名称	对应工位	最短直线距离(cm)	是否≥30.5cm	测量温湿度	管控/豁免措施	测量人	审核人	测量日期
1
2

8 审核与培训

每季度组织PEI专项内审，重点核查判定准确性、测量记录完整性、管控措施落地性；新员工入职、老员工复岗必须开展PEI管控培训，确保全员掌握判定标准、距离要求及应急整改流程，杜绝ESD风险。

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